2025-05-27 00:50:02
在微流控芯片集成領域,某微機電系統實驗室利用 Polos 光刻機的多材料同步曝光技術,在同一塊 PDMS 芯片上直接制備出金屬電極驅動的氣動泵閥結構。其微泵通道寬度可控制在 20μm,流量調節精度達 ±1%,響應時間小于 50ms。通過軟件輸入不同圖案,可在 10 分鐘內完成從連續流到脈沖流的模式切換。該芯片被用于單細胞代謝分析,實現了單個tumor細胞葡萄糖攝取率的實時監測,檢測靈敏度較傳統方法提升 3 倍,相關設備已進入臨床前驗證階段。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和**公司提供了利用其功能的機會。Polos-BESM XL:130mm×130mm 曝光幅面,STL 模型直接導入,微流控芯片制備周期縮短 40%。陜西POLOSBEAM-XL光刻機MAX層厚可達到10微米
無掩模激光光刻技術為研究實驗室提供了一種多功能的納米/微米光刻工具,可用于創建亞微米級特征,并促進電路和器件的快速原型設計。經濟高效的桌面配置使研究人員和行業從業者無需復雜的基礎設施和設備即可使用光刻技術。應用范圍擴展至微機電系統 (MEM)、生物醫學設備和微電子器件的設計和制造,例如以下領域:**(包括微流體)、半導體、電子、生物技術和生命科學、先進材料研究。全球無掩模光刻系統市場規模預計在 2022 年達到 3.3606 億美元,預計到 2028 年將增長至 5.0143 億美元,復合年增長率為 6.90%。由于對 5G、AIoT、物聯網以及半導體電路性能和能耗優化的需求不斷增長,預計未來幾十年光刻市場將持續增長。湖北POLOSBEAM光刻機基材厚度可達到0.1毫米至8毫米Polos-BESM:基礎款高性價比,適合高校實驗室基礎微納加工。
超表面通過納米結構調控光場,傳統電子束光刻成本高昂且效率低下。Polos 光刻機的激光直寫技術在石英基底上實現了亞波長量級的圖案曝光,將超表面器件制備成本降低至傳統方法的 1/5。某光子學實驗室利用該設備,研制出寬帶消色差超表面透鏡,在 400-1000nm 波長范圍內成像誤差小于 5μm。其靈活的圖案編輯功能還支持實時優化結構參數,使器件研發周期從數周縮短至 24 小時,推動超表面技術從理論走向集成光學應用。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和**公司提供了利用其功能的機會。
Polos光刻機與弗勞恩霍夫ILT的光束整形技術結合,可定制激光輪廓以優化能量分布,減少材料蒸發和飛濺,提升金屬3D打印效率7。這種跨領域技術融合為工業級微納制造(如光學元件封裝)提供新思路,推動智能制造向高精度、低能耗方向發展Polos系列broad兼容AZ、SU-8等光刻膠,通過優化曝光參數(如能量密度與聚焦深度)實現不同材料的高質量加工。例如,使用AZ5214E時,可調節光束強度以減少側壁粗糙度,提升微結構的功能性。這一特性使其在生物相容性器件(如仿生傳感器)中表現outstanding26。軟件高效兼容:BEAM Xplorer支持GDS文件導入,簡化復雜圖案設計流程。
無掩模激光光刻:科研效率的revolution性提升!Polos-BESM系列采用無掩模激光直寫技術,用戶可通過軟件直接輸入任意圖案,省去傳統光刻中掩膜制備的高昂成本與時間。其405 nm紫外光源和亞微米分辨率(most小線寬0.8 ?m)支持5英寸晶圓的高精度加工,特別適合實驗室快速原型開發。閉環自動對焦系統(1秒完成)和半自動多層對準功能,remarkable提升微流體芯片和MEMS器件的研發效率62。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術,用于在基板上以高精度和高分辨率創建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發出一款緊湊且經濟高效的 MLL 系統。通過與計算機輔助設計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統等各個領域。該系統的經濟高效性使其優勢擴展到大學研究實驗室以外的領域,為半導體和**公司提供了利用其功能的機會。全球產業鏈整合:德國精密制造背書,與Lab14集團共推光通信芯片封裝技術。四川德國PSP-POLOS光刻機MAX基材尺寸4英寸到6英寸
無掩模技術優勢:摒棄傳統掩模,圖案設計實時調整,研發成本直降 70%。陜西POLOSBEAM-XL光刻機MAX層厚可達到10微米
一家專注于再生醫學的科研公司在組織工程支架的研究上,使用德國 Polos 光刻機取得remarkable成果。組織工程支架需要具備特定的三維結構,以促進細胞的生長和組織的修復。Polos 光刻機能夠根據預先設計的三維模型,在生物可降解材料上精確制造出復雜的孔隙結構和表面圖案。通過該光刻機制造的支架,在動物實驗中表現出優異的細胞黏附和組織生長引導能力。與傳統制造方法相比,使用 Polos 光刻機生產的支架,細胞在其上的增殖速度提高了 50%,為組織工程和再生醫學的臨床應用提供了有力支持。陜西POLOSBEAM-XL光刻機MAX層厚可達到10微米